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第58章 询问光刻机进度解决麻烦(第2页)

王国平点了点头,“请林总放心,我们一定会全力以赴,争取早日完成复刻工作。”

后面,李会民、朱文军等一众院士纷纷围了过来,他们的脸上都带着凝重的神色。

在这个关键时刻,每一个科研进展都牵动着他们的心。

林煜看大家都到齐了,便趁机开了一个小会。

他环顾四周,目光在每位院士的脸上都停留了片刻,然后缓缓开口问道:“我们现在的难题有哪些?”

众院士面面相觑,最后由朱文军回答道:“这个难题可不少。从硅晶圆、光刻胶、离子植入到封装测试,我们几乎都没有自主技术。尤其是光刻机,现在需要的东西都比较精密,我们目前的技术水平还无法完成自主制造。”

他顿了一顿,接着说:“不过这些我们也知道可以找各大厂商购买,但清单中有一样东西现在是买不到的。”

“哦?是什么东西?”

林煜好奇地问道。

“是深紫外激光器。”

朱文军解释道。

“这种激光器可以利用非线性光学晶体进行波长转换,射出深紫外光。这是我们目前无法达到的技术水平,我们需要更小的nm激光器来提高光刻分辨率,至少要达到8onm,当然如果能达到65nm那就更好了。”

林煜听后若有所思地点了点头:“那我们现在有在研究这个技术吗?”

“有的,我们已经派人去安徽光机所求援了。”

李会民接话道。

“他们那边有专业的科研团队和先进的设备,希望能有所突破。”

“那他们预计能在什么时候完成研究?”

林煜追问。

“我们已经把光刻机上面,那台深紫外激光器拆了。拿过去给他们研究。据那边的科研人员说,只需要3个月左右就可以有所进展。”

李会民回答道。

“差不多在5月份就可以开始完成光刻机的复刻工作。”

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